除磁滯特性外，影響壓電陶瓷片定位精度的另一個特性是蠕變特性。 當向壓電陶瓷片施加電壓時，壓電陶瓷片將立即膨脹并產(chǎn)生相應的位移，此后很長一段時間，壓電陶瓷的長度將繼續(xù)產(chǎn)生輕微的伸長變形. 我們稱之為隨后的輕微長度變形蠕變. 蠕變量可通過以下公式計算。

　　 壓電陶瓷的蠕變系數(shù)約為1 % - 2 % 。

　　 蠕變量取決于總位移、蠕變系數(shù)、外部載荷、時間等. 壓電陶瓷。 蠕變也可以理解為取決于時間的對數(shù)。

　　 靜態(tài)或準靜態(tài)操作下的蠕變我們通過實驗進行了測試，以獲得蠕變曲線:

　　 PST 150 / 5x 5 / 60的蠕變特性

　　 在這個實驗中，蠕變系數(shù)取決于壓電材料、結(jié)構和環(huán)境條件(例如.g. 負載力)。 10s蠕變是1. 2 μm和100 s的蠕變量為1. 8 μm。 蠕變實際上在位移(電壓)停止幾秒鐘后停止。

　　 動態(tài)操作下的蠕變行為

　　 當周期信號用于驅(qū)動壓電陶瓷時，蠕變特性不會破壞壓電陶瓷的峰值和峰值的重復定位精度，因為蠕變特性具有很強的時間確定性，并且在每個正弦周期中蠕變量幾乎相同。

　　 模擬壓電陶瓷控制器驅(qū)動壓電陶瓷. 正弦信號的全振幅位移為20 μm，峰值和峰值的重復定位精度優(yōu)于20 nm，約為全振幅的0 %.. 1 %。

　　 我們可以得出結(jié)論，即使在動態(tài)操作中不使用閉環(huán)，壓電陶瓷位移的峰峰值也可以達到非常高的重復定位精度. 此時的重復定位精度僅取決于壓電控制器的性能。 我們明天推薦分辨率為0的e00 / e01系列核心模塊化控制器. 2mV。

　　 如果在靜態(tài)或準靜態(tài)條件下工作，蠕變特性將對定位精度產(chǎn)生一定影響，這時，我們可以使用閉環(huán)形式的壓電陶瓷和控制器， 內(nèi)置高精度傳感器的壓電致動器，可以實時檢測位置信號并反饋給壓電控制器.，壓電控制器通過PID算法實時調(diào)整電壓來校正位移，以實現(xiàn)全振幅為0. 05 %重復定位精度。